建立于 1958年，隶属于微电子科学系。该专业培养具有坚实的数理基础，掌握微电子专业基本理论和实验技术，掌握集成电路和集成系统以及其他新型半导体器件的设计方法和制造工艺，熟悉电子技术和计算机技术，具有一定的科学研究和实际工作能力的科学技术和工程技术人才。微电子学专业的课程主要有数学物理基础（高等数学、基础物理和现代物理）、电子电路基础（模拟电路、数字电路和电路实验等）、计算机和软件技术（计算机概论、微机原理、计算机系统与结构等）和专业课（半导体物理、半导体器件物理、集成电路原理和设计、集成电路工艺等）等四大类。该专业毕业生的主要去向是报考微电子学、固体电子学、通信、计算机科学等学科的研究生，到集成电路制造厂家、集成电路设计中心以及通信和计算机等信息科学技术领域从事开发和研究工作。